供应半自动探针台技术标准
XH-PRO-6半自动探针台与测试仪配接后,能自动完成对芯片的电参数测试。
基本特点:
1. 采用高性能工控机,WINOOWs操作系统;
2. 可实现2000V以内高压测试;
3. TTL专用接口,兼容各种测试仪;
基本功能:
1. WINOOWs友好界面,动态显示测试过程;
2. MAP图显示、支持大量数据存储;
3. 具有同步打点、延时打点(延时打点个数:1~7个)、离线打点功能;
4. 自动测试方式灵活多样(矩阵、探边、圆形等),具有探高测试功能;
5. 具有多种测试功能;
技术指标:
性能名称 技术指标
可测片径 4″、5″、6″
工作台 最大行程 180mm×180mm
定位精度 ≤±0.01mm/160mm
步进分辨率 0.001mm
承片台 Z向行程 10mm
Z向定位精度 ≤±0.003mm
Z向分辨率 0.001mm
θ向调节范围 ±10 º
θ向分辨率 0.0013 º
观察装置 双目体视显微镜
放大倍数14X~90X
上、下片方式 手动方式
外形尺寸(宽×深×高) 650mm×800mm×1400mm
环境要求:
1. 电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<0.8KW
2. 真空:< -80 KPa
3. 使用环境:温度:10ºC-30ºC 相对湿度:<70%
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