供应反射率及薄膜厚度测量系统
应用范围:
? 薄膜太阳能电池
? 光学镀膜
? 平面显示器
? LCD and LED
? 半导体及介电质
? 平滑与粗糙样品皆适用
系统特色:
? 即时运算
? 量测速度小于1秒
? 薄膜厚度,反射率CIE色度量测
? 易于操作,成本效益高
? 包含可追追溯反射率标准值
? 可同时适用平滑与粗糙样品
参考规格
量测功能 薄膜厚度,反射率,CIE色度
系统模式 反射式光源或反射式积分球(8/D,D/8Selective)
波长范围 380-850nm,380-1100nm,380-1650nm or custom
膜厚量测范围 300-400,000Angstrom
解析度 0.5-2nm
精确度 1nm
重复性 ±1%
量测速度 少于1秒
量测光源 高瓦素卤素灯源(最高可达1650nm)
适用样品 光学镀膜,蓝宝石GaN,彩色滤片,太阳能电池,偏光镜等等
系统平台 固定平台/x-ystage(行程100mm*100mm,150mm*150mm或客制比)/自动平台
量测软件 WINOOWs Me,98,2000,XP comparable.薄膜厚度自动设计软件,反射率,表面粗糙度,色差量测软件
选够 显微镜
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