电子级硼酸甲酯 (TMB)
一、分子式: B(OCH3)3
二、分子量:103.92
三、理化性质
无色液体,无明显气味,性质稳定。熔点-29℃,密度0.915g/ml,沸点67~68℃。易燃,
与氧化剂能发生强烈反应。水解生成甲醇和硼酸,能与有机溶剂混溶。
四、用途
主要用于晶圆制造过程中化学气相沉积(CVD)生成硼磷硅酸玻璃(BPSG)。是半导体、
分立器件、微机电系统(MEMS)制造所需的重要电子化学品。
CVD/ALD (Chemical Vapr DePOSTTTION /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料
Dielectrics PMD/IMD |
TEOS ,TEPO,TMPO,TEB,TMB |
Low K Dielectrics |
4MS ,OMCATS |
High K Dielectrics |
TAETO (Ta2O5 Precursor ) TEMAZ (ALD ZrO2 Precursor) TMA (Al2O3 Precursor) |
Metal Gate and Interconnect Metal |
TDMAT (TiN Precursor ) TiCl4 ( Ti /TiN Precursor ) |
Low-Temp Nitride/Oxide |
HCDS |
Diffusion |
POCl3 |
供应半导体化学气相沉积材料,专业研发及制造各种先进CVD/ALD (Chemical Vapr DePOSTTTION /Atomic Layer Depostion )化学气相沉积材料,TDMAT / InCl3/TEOS/TMB/TEB Precursor,TDMAT/TiCl4/TMA/TEASAT/InI/InF3/InCl3/High-K/Low-K Material,TEOS,TMB,TEB,TMPO,TEPO,TDMAT,TiCl4等。