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我司供应原子层沉积ALD前驱体材料 

  • 价 格: 面议 /
  • 供 应 地:广东省深圳市
  • 发布公司:深圳市旺达康新材料有限公司
  • 产品型号:前驱体材料
  • 品 牌:leadmat
  • 发布日期:2017/3/14 14:58:17
  • 联系人QQ:1205008114 点击这里给我发消息

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我司供应原子层沉积ALD前驱体材料

原子层沉积(ALD)技术与其他薄膜沉积技术(化学气相沉积/物理气相沉积或者溅射技术)相比,有很多优势。原子层沉积技术是一种表面控制的方法,其他沉积技术可以总结为源控制的方法。这种源控制沉积方法中前驱体在到达基片表面之前就已经产生了化学反应,因此所沉积的薄膜不一定均匀和具有保形性,也不能很好的在小面积的表面或者在具有高深宽比结构上沉积薄膜。例如:硅片中的深壕(当下和以后电子元件制作中的一个重要组件),这样薄膜上就会有裂缝和针点,如果是在防腐蚀涂层和医学移植体涂层或者密封剂层的制造等应用中,就会导致沉积的薄膜报废。

传统的薄膜沉积方法也不可能做到原子层级别的结构和厚度上的精确控制。ALD技术也可以用于提高其他方法所沉积的薄膜质量,比如用物理气相沉积方法(PVD)可以很容易快速的沉积出相对较厚的薄膜,ALD技术已经成功的被用来在这些薄膜上沉积密封层,填补下面的PVD薄膜上可能出现的针孔和裂缝。ALD技术相对于最基础的离子轰击镀膜方法对材料表面也更温和。

 

 


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深圳市旺达康新材料有限公司

联系人:宋华(业务)

邮箱:sales@leadmat.com

地址:广东省深圳市福田区八卦四路先科机电大厦1325

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  • 会员级别:免费会员
  • 认证类型:企业认证
  • 企业证件:已通过企业认证 [已认证]
  • 认证公司:深圳市旺达康科技有限公司
  • 主营产品:溅射靶材 蒸发镀膜材料 高纯材料 磁控溅射靶材 稀土材料 金属溅射靶材 合金溅射靶材 陶瓷溅射靶材 真空镀膜材料 光学镀膜材料 钛铝合金靶材 铜镓合金靶材 硅铝合金靶材 锌铝合金靶材 氧化锌靶材 AZO靶材
  • 公司所在地:广东省深圳市