环保耐腐蚀化工泵生产厂家 杰凯泵业厂家供应
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在集成电路制造和其他微小型零件的制作中，常常将微细加工技术进一步分解为横向 微细加工技术和纵向微细加工技术两种方式。横向微细加工是按照器件的设计要求，在材料的表面制作各种所需要的图形，纵向微细加工则是根据器件的要求，在材料的纵深方向 制作各种薄膜结构。一般情况下，这种微细加工的尺度在微米或者亚微米级。
以集成电路的制造为核心的微电子工业的发展在很大程度上取决于微细加工技术的发 展。当加工精度以微米、纳米，甚至以原子单位（0.1-0.2nm）为目标时，常规加工方法 已无能为力，需要借助特种加工的方法，如离子溅射和离子注人、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等，极细微地控制表面层物质去除或添加的量，达到微细加工 的目的。
当前，不断发展的微细加工技术正在向纳米制造技术（nano Technology）延伸，后者涵盖了近年来由微电子与微机械集成的微机电系统、由微电子与生物工程结合而发展起来的生物芯片技术等，被公认为将影响21世纪科技发展的三大技术领域之一。人们预期，这些技术将实现人类在认识自然和改造自然方面的能力的又一次飞跃，对信息、材料、生物医疗、航空航天等领域产生重大影响。
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