技术参数；
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真空腔体 |
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类型 |
高温型室温到400℃ |
高低温型 室温到400℃ 室温到-190℃ |
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腔体材质 |
304不锈钢可选（6061铝合金） |
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腔体内尺寸 |
127mmX57mmX20mm |
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腔体外尺寸 |
150mmX80mmX32mm |
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腔体重量 |
不锈钢材质 约1.5KG 铝合金材质 约0.5KG |
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腔体上视窗尺寸 |
Φ42mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离） |
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腔体抽气口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体真空测量口 |
KF16法兰（其余接口规格可转接） |
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腔体进气口 |
公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 |
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腔体冷却方式 |
腔体水冷+上盖气冷 |
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腔体水冷接口 |
6mm快拧 或 6mm快插 |
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腔体正压 |
≤0.05MPa |
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腔体真空度 |
机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） |
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样品台 |
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样品台材质 |
不锈钢 |
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样品台尺寸 |
30x30mm |
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样品台加热方式 |
电阻加热 |
电阻加热 液氮制冷 |
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样品台-视窗 距离 |
11mm（可选配凹视窗用于减少窗口和样品之间距离到6mm） |
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样品台测温传感器 |
PT100型热电阻 |
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样品台温度 |
室温到400℃ |
室温到350℃ 室温到-190℃ |
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样品台测温误差 |
±0.5℃ |
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样品台升温速率 |
高温100℃/min 最大值 低温7℃/min |
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温控仪 |
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温度显示 |
7寸人机界面 |
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温控类型 |
标准PID温控 +自整定 |
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温度分辨率 |
0.1℃ |
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898995850
