产品名称：ASM142氦质谱检漏仪
简介:
ASM142 氦质谱检漏仪是法国ALCATEL 公司最新推出的用来检测电子元器件的多功能氦质谱检漏仪
器。
可以对具有内腔的微电子或半导体器件封装的气密性进行细检漏。
该检测方法使用的示踪气体选择了氦气，氦气具有质量数小、重量轻并且有渗透能力强的优点，达
到了细检漏的目的。
符合美国真空标准AVS2.1 以及国际标准ISO3530 的标准。内置式标准漏孔，带自动温度补偿
系统。开机5 分钟后完成全部准备工作，可以开检。数显工作界面；数字显示漏率，带音频报警。
所有工作参数可以通过菜单设定和修改。可以设置报废点。质谱室自动保护：防止大气突然冲入。
技术规格:
灵敏度： 3.0×10-11mbar.l/s
漏率显示范围： 2 ×10-11 ~1 ×10 -1 mbar.l/s (He)
达到检漏的时间（空盒时）： 小于30 秒
发射电流显示： 0.2—2mA
检漏口对氦气的抽速： 1.3 升/秒
启动时间： 小于5 分钟
接口尺寸: DN 25 KF
外观尺寸： 510×343×428mm
重量： 56Kg
电源：
220V 50Hz 单相
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