上海无尘车间该如何防止微粒子污染
通过使用高性能过滤器,洁净室中漂浮颗粒的浓度可以很容易地达到零水平。实际生产现场由操作员,机器,外围设备以及与基板接触的部件的灰尘带来灰尘。在制成品周围产生少量细颗粒,这会在部件的清洁表面上造成颗粒污染。
如何防止洁净室和无尘净化车间的颗粒污染?应遵守以下四项基本原则:
首先,不要带进来
在洁净室中不携带颗粒的方法是:
1)操作人员进入洁净室前,应在搬运前清洗机器和部件;
2)进入洁净室的人员应穿着干净的衣服,帽子,鞋子,手套,口罩等,并使用特殊的导电纤维材料,在更衣室内不会产生灰尘或产生静电。
3)在通过空气淋浴后,在进入洁净室之前,使用高速清洁空气去除附着在衣物表面的颗粒。
4)机器和物料进入洁净室前,应在清洁后尽可能将其带入洁净室前室,然后用超纯水擦拭,吹干后进入洁净室通过风淋。
5)在洁净室中,戴上一个封闭的头盔和一个小风扇,腰部有一个过滤器。
整理房间
第二,不会发生
在控制最大污染源 - 洁净室内人员排放的粉尘量的同时,还应控制第二大污染源产生的粉尘量。随着物品移动,摩擦和接触剥离将导致灰尘,并且当物体移动时也会发生颗粒。因此,为了尽量减少产生的粉尘量,应采取以下对策:
1)减少接触剥落和除尘的作用模式;
2)使用磨损和灰尘小的材料;
3)使用少量润滑油;
4)空气压缩机浮在机器上的非接触工作原理。
第三,没有储备
如果可以完全实现“无携带”技术,则可以保持洁净室和洁净室的清洁度。然而,实际上,人们和物品的频繁涌入以及制造机器的唆使都不可能在广阔的洁净室中完全清洁。因此,非常重要的是在过滤器中快速应用“无保留”技术以去除已经发生的颗粒。通常,已发生qianqian2018的颗粒将依赖于重力和静电吸附而停留在周围物体的表面上。突然的振动和不稳定的气流会导致这些积聚的颗粒再次在空气中上升,增加了重大颗粒污染的风险。
在最高级别的洁净室中,从天花板到地面,完全去除颗粒的空气必须以0.3-0.4米/秒的速度垂直向下流动。这是通过在大约10秒内完全交换室内空气和完全过滤的空气而计算出的值。同时,空气流动也必须有精确的控制。特别是,必须确保气流的流动路径畅通无阻,因为如果在循环路径中存在障碍物,则容易产生空气涡流以形成空气的截留区域,从而使得微粒在附近发生的事情不能很快被消除并在洁净室里漂流很长时间。其中一些会粘附在外围设备表面并造成污染。
控制气流可防止颗粒堆积,但不能防止颗粒在带电表面上的积聚。
通过使用高性能过滤器,洁净室中漂浮的细颗粒的浓度可以容易地达到零水平。操作员,机器,外围设备以及与基板接触的部件和材料的灰尘使实际生产现场变得多尘。在制成品周围产生少量细颗粒,这会在部件的清洁表面上造成颗粒污染。
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