德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器，并在该领域保持技术领先地位。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品应用：
· 微机械加工
· 激光烧蚀
· 光谱学
· 计量学
产品参数：
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ATLEX-300-I 产品参数 |
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气体介质 |
F2 |
ArF |
KrF |
XeCl |
XeF |
单位 |
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波长 |
157 |
193 |
248 |
308 |
351 |
nm |
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高压开关技术 |
固态开关 |
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最大脉冲能量1 |
1 |
10 |
15 |
8 |
7 |
mJ |
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最大平均功率 |
0.2 |
2.4 |
4.0 |
2.0 |
1.7 |
W |
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最大重复频率 |
300 |
Hz |
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脉冲宽度2 |
5 – 8 |
ns |
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光束尺寸2(V x H) |
4 x 6 |
mm |
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光束发散角2(V x H) |
1 x 2 |
mrad |
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能量稳定性（标准偏差） |
< 3 |
% |
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尺寸（长x宽x高） |
540 x 470 x 370 |
mm |
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重量 |
60 |
kg |
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冷却 |
Cooling Air / Optional Liquid |
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电力需求 |
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
898995850
