薄膜测厚仪
- 价 格：
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台
- 供 应 地：天津天津市
- 发布公司：孚光精仪中国有限公司
- 产品型号：felles-photonic
- 品 牌：felles
- 发布日期：2012/12/22 16:17:28
- 联系人QQ：123456
详细说明
这款聚合物薄膜测厚仪用于测量聚合物薄膜和光致抗蚀剂薄膜在加热或制冷情况下薄膜厚度和光学常量（n, k)的变化。为了这种特色的测量，我们特意研发了专业的软件和算法，使得该聚合物薄膜测厚仪能够给出薄膜的物理化学指标：例如玻璃化转变温度 glass transition temperature (Tg), ，热分解温度thermal degradation temperature (Td) ，薄膜的厚度测量范围也高达10nm--100微米。
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这套聚合物薄膜测厚仪,光致抗蚀剂测量仪,光刻薄膜测量,光刻胶测量仪在传统薄膜测厚仪的基础上添加了加热/制冷的温度控制单元，使用白光反射光谱技术（WLRS)，实时测量薄膜厚度和折射率，并通过专业软件记录下这些数据。
这套聚合物薄膜测厚仪,光致抗蚀剂测量仪,光刻薄膜测量,光刻胶测量仪能够快速实时给出薄膜厚度和薄膜光学常量等物理化学性能数据，并且能够控制薄膜加热和制冷的速度，是聚合物薄膜特性深入研究的理想工具。所使用的软件也适合薄膜的其他热性能研究，例如：薄膜的热消融/热剥蚀thermal ablation研究，薄膜光学性质随温度的变化，薄膜预烘烤Post Apply Bake，光刻过程后烘烤 Post Exposure Bake对薄膜厚度的损失等诸多研究。
对于薄膜的厚度测量仪，这款聚合物薄膜测厚仪,光致抗蚀剂测量仪,光刻薄膜测量,光刻胶测量仪要求薄膜衬底是透明的，背面是不反射的。它能够处理最高4层薄膜的膜堆layer stacks，给出两个参数：例如两个薄膜的厚度或一个薄膜的厚度和光学常量。
这套聚合物薄膜测厚仪,光致抗蚀剂测量仪,光刻薄膜测量,光刻胶测量仪已经成功应用于测量不同聚合物薄膜的热性能，光刻薄膜的热处理影响分析，Si晶圆wafer上的光致抗蚀剂薄膜分析等。
孚光精仪公司(Felles Photonic)是由工作于光学领域多年的专业人士发起成立的，专注于提供欧洲和美国原产的基于光学、光谱和激光技术的各种仪器及器件的大型高科技国际贸易服务公司。总部位于我国北方经济中心---天津市，在香港和天津拥有进口合作伙伴，旨在为国内客户提供快捷便利的技术和进口服务。
本着“精通光学，服务科学”的理念，Felles Photonic 公司做到产品百分之百原装进口，质量可靠，技术先进，价格合理，服务周到。Felles Photonic 在光学领域的专业性给用户带来优越的技术服务享受。
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