MS1000 – 初步数据表
单轴模拟加速度计
MS1000是专为惯性应用而设计的最好的同类电容式体硅MEMS加速度计。其优异的长期零偏和比例因子重复性，低运
行偏差，优异的振动行为（VRE）和低噪声，可用于非常精确和具有成本效益的战术级测量。
内部电子电路集成了一个具有差分模拟±2.7V输出的信号调理器，一个内置自检和一个温度补偿传感器。
功能原理框图
主要特性 (±10g)
? 运行中偏置稳定性: 15 μg
? 非线性: ±0.3% FS
? 优异的长期零偏重复性: 1.2mg
? 恶劣环境中的可靠性
? 低噪声: 34 μg/√Hz
? LCC20, 密封包装
重要参数, 典型值
MS1002
MS1005*
MS1010
MS1030*
MS1100*
Unit
加速度全量程
± 2
± 5
± 10
± 30
± 100
g
剩余偏置建模误差
0.14
0.35
0.7
2.1
7.0
mg
长期零偏重复性
0.24
0.6
1.2
3.6
12.0
mg
运行中偏置稳定性
3
7.5
15
45
150
μg
剩余比例因子建模误差
120
120
120
120
120
ppm
比例因子敏感性
1350
540
270
90
27
mV/g
轴不对准
10
10
10
10
10
mrad
分辨率(1Hz)
7
17
34
102
339
μg rms
非线性 (IEEE norm)
0.3
0.3
0.3
0.3
0.3
% FS
工作温度
-40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 -40 to +125 °C
运行功耗
10
10
10
10
10
mW
尺寸
9 x 9
9 x 9
9 x 9
9 x 9
9 x 9
mm2
(*) 开发中的量程
特色应用（未全列入）：
航空航天 & 国防 :
海军 & 陆地:
惯性测量单元 (IMUs)
寻北、天线、声纳定位
航空电子设备（固定翼和旋翼）：FCS，自动驾驶仪，
姿态系统（AHRS，待机） ,
武器发射系统 - 平台稳定性
GPS 辅助引导 & 导航无人机系统
ROV 制导，武器发射系统，
船舶导航和控制
移动测绘
列车定位（GPS 航位推算）
短程制导，机器人
MWD – 随钻导向
898995850
